U preciznom lancu proizvodnje poluvodiča, sustav za prijenos pločica je poput "životne linije proizvodne linije čipova", a njegova stabilnost i točnost izravno određuju stopu prinosa čipova. Nova generacija sustava za prijenos pločica revolucionarno kombinira linearne motore s granitnim bazama, a jedinstvene prednosti granitnih materijala upravo su ključni kod za otključavanje visokoučinkovitog prijenosa.
Granitna baza: Izgradnja "čvrstog temelja" za stabilan prijenos
Granit, koji je prošao stotine milijuna godina geološkog usavršavanja, odlikuje se gustom i ujednačenom unutarnjom mineralnom kristalizacijom. Ova prirodna karakteristika čini ga idealnim osnovnim materijalom za sustave prijenosa pločica. U složenom okruženju čistih prostorija za poluvodiče, granit, sa svojim ultra niskim koeficijentom toplinskog širenja (samo 5-7 ×10⁻⁶/℃), može odoljeti toplini koja se stvara tijekom rada opreme i utjecaju promjena temperature okoline, osiguravajući stabilnost veličine baze i izbjegavajući odstupanje prijenosnog puta uzrokovano toplinskom deformacijom. Njegove izvanredne performanse prigušivanja vibracija mogu brzo apsorbirati mehaničke vibracije nastale tijekom pokretanja, zaustavljanja i ubrzavanja linearnih motora, kao i vanjske smetnje uzrokovane radom druge opreme u radionici, pružajući stabilnu platformu s "nultom podrhtavanjem" za prijenos pločica.
U međuvremenu, kemijska stabilnost granita osigurava da ne korodira ili ne hrđa u radionicama za poluvodiče gdje su kiseli i lužnati reagensi hlapljivi i potrebna je visoka čistoća, čime se izbjegava utjecaj na točnost prijenosa zbog starenja materijala ili adsorpcije onečišćujućih tvari. Glatke i guste površinske karakteristike mogu učinkovitije smanjiti prianjanje prašine, zadovoljavajući stroge standarde čistih soba bez prašine i uklanjajući rizik od kontaminacije pločice iz korijena.
Učinak "zlatnog partnerstva" linearnih motora i granita
Linearni motori, sa svojim karakteristikama bez mehaničkog zazora pri prijenosu, velikim ubrzanjem i velikom brzinom odziva, daju prijenosu pločice prednosti "brzog, točnog i stabilnog". Granitna baza pruža čvrstu i pouzdanu potpornu platformu. Njih dvoje rade zajedno kako bi postigli skok u performansama. Kada linearni motor pokreće nosač pločice da se kreće po granitnoj tračnici baze, jaka krutost i stabilnost baze osiguravaju učinkovit prijenos pogonske sile motora, izbjegavajući gubitak sile ili kašnjenje prijenosa uzrokovano deformacijom baze.
Potaknuti zahtjevima za nanoskalnom preciznošću, linearni motori mogu postići kontrolu pomaka na submikronskoj razini. Visokoprecizne karakteristike obrade granitnih baza (s pogreškama ravnosti kontroliranim unutar ±1 μm) savršeno se podudaraju s preciznom kontrolom linearnih motora, zajednički osiguravajući da je pogreška pozicioniranja tijekom prijenosa pločice manja od ±5 μm. Bilo da se radi o brzom premještanju između različite procesne opreme ili preciznom parkiranju za primopredaju pločice, kombinacija linearnih motora i granitnih baza može osigurati "nulto odstupanje i nulto podrhtavanje" u prijenosu pločice.
Verifikacija industrijske prakse: Dvostruko poboljšanje učinkovitosti i stope prinosa
Nakon nadogradnje svog sustava za prijenos pločica, vodeća globalna tvrtka za poluvodiče usvojila je rješenje s linearnim motorom i granitnom bazom, što je povećalo učinkovitost prijenosa pločice za 40%, smanjilo stopu pojave grešaka poput sudara i pomaka tijekom procesa prijenosa za 85% te poboljšalo ukupnu stopu prinosa čipova za 6%. Iza podataka leži jamstvo stabilnosti prijenosa koje pruža granitna baza te sinergijski učinak velike brzine i preciznosti linearnog motora, što značajno smanjuje gubitke i pogreške u procesu prijenosa pločice.
Od svojstava materijala do precizne proizvodnje, od prednosti u performansama do praktične provjere, kombinacija linearnih motora i granitnih baza redefinirala je standarde sustava za prijenos pločica. U budućnosti, kada se tehnologija poluvodiča bude razvijala prema 3nm i 2nm procesima, granitni materijali će zasigurno nastaviti snažno ubrizgavati poticaj razvoju industrije svojim nezamjenjivim prednostima.
Vrijeme objave: 14. svibnja 2025.