Kako industrija poluvodiča agresivno teži procesnim čvorovima ispod 2nm, margina za mehaničke pogreške praktički je nestala. U ovom okruženju s visokim ulozima, stabilnost procesne komore više nije sekundarna briga; ona je primarno usko grlo za prinos. U ZHHIMG-u promatramo temeljnu promjenu u načinu na koji globalni proizvođači originalne opreme pristupaju strukturnom integritetu poluvodičke kapitalne opreme.
Fizika tišine: Napredne tehnike prigušivanja vibracija
U modernoj proizvodnji pločica, vibracije koje su se nekada smatrale "pozadinskom bukom" sada su katastrofalne. Bilo da se radi o mikrooscilacijama iz HVAC sustava postrojenja ili unutarnjoj inerciji brzog skenirajućeg stupnja, nekontrolirana energija izravno se prevodi u pogreške preklapanja i zamućene uzorke.
Trenutne tehnike prigušenja vibracija u proizvodnji poluvodiča evoluirale su u višeslojnu arhitekturu. Dok pasivno prigušenje - korištenje materijala velike mase poput mineralnog lijevanja ili preciznog granita - ostaje temelj, vidimo porast integracije aktivnog prigušenja.
Aktivni sustavi koriste piezoelektrične aktuatore i senzore u stvarnom vremenu za "poništavanje" vibracija generiranjem protufrekvencija. Međutim, učinkovitost aktivnih sustava inherentno je ograničena omjerom prigušenja osnovnog materijala. Ovdje ZHHIMG-ova stručnost u visoko prigušujućim konstrukcijskim materijalima postaje ključna. Kombiniranjem aktivne elektronike s prirodno inertnom granitnom ili kompozitnom bazom, pružamo "mirnu zonu" gdje se nanopozicioniranje može odvijati bez smetnji.
Uspon kretanja bez trenja: tehnologija zračnih ležajeva
Potražnja za većim protokom dovela je tradicionalne mehaničke ležajeve do njihovih granica. Trenje dovodi do zagrijavanja, a toplina dovodi do toplinskog širenja - neprijatelja preciznosti. To je dovelo do širokog prihvaćanjatehnologija zračnih ležajeva za precizne pozornice.
Zračni ležajevi podupiru opterećenje na tankom filmu komprimiranog zraka, obično debljine samo nekoliko mikrona. Budući da nema fizičkog kontakta, nema statičkog trenja (lijepljenja). To omogućuje:
-
Kretanje bez histereze: Osiguravanje da se pozornica svaki put vrati na istu nanometarsku koordinatu.
-
Konstantnost brzine: Kritična za aplikacije skeniranja poput inspekcije E-snopom gdje bi čak i najmanje "nazubljenje" mehaničkog ležaja iskrivilo sliku.
-
Iznimna dugotrajnost: Budući da nema dijelova koji se dodiruju, nema trošenja niti stvaranja čestica, što ih čini idealnim za čiste prostorije klase 1.
U ZHHIMG-u proizvodimo ultra-ravne granitne površine koje služe kao vodilice za ove zračne ležajeve. Da bi ispravno funkcionirale, ove površine moraju biti izglačane do ravnosti mjerene u dijelovima svjetlosne valne duljine.
Trendovi u poluvodičkoj kapitalnoj opremi: 2026. i dalje
Kako se krećemo kroz 2026. godinu,trendovi u poluvodičkoj kapitalnoj opremikarakteriziraju ih „Tri stupa“: Modularizacija, Održivost i Termalna kontrola.
-
Modularni dizajn platforme: Proizvođači originalne opreme (OEM) traže osnovne module "plug-and-play". Umjesto dizajniranja nove baze za svaki alat, koriste standardizirane precizne ZHHIMG temelje koji se mogu prilagoditi za litografiju, metrologiju ili jetkanje.
-
Upravljanje toplinom: Budući da EUV (ekstremno ultraljubičasto) svjetlo generira ogromnu toplinu, baza stroja mora djelovati kao masivni hladnjak. Integriramo složene rashladne kanale izravno u naše mineralne i granitne komponente kako bismo održali deltu od $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Kompatibilnost s vakuumom: Kako se sve više procesa prebacuje u okruženja s visokim vakuumom, korišteni materijali moraju imati nultu razinu ispuštanja plinova. Naša specijalizirana obrada granita i keramike osigurava da strukturni temelji nikada ne ugroze integritet vakuuma.
Strateško partnerstvo sa ZHHIMG-om
ZHHIMG nije samo proizvođač komponenti; mi smo strateški partner u lancu opskrbe za upravljanje gibanjem. Naš pogon u Kini blisko surađuje s inženjerskim timovima u Silicijskoj dolini i Eindhovenu kako bi riješio najteže izazove stabilnosti u industriji.
Iskorištavanjem naših vlasničkih tehnika lepanja i našeg dubokog razumijevanjatehnike prigušivanja vibracija, omogućujemo našim klijentima da pomiču granice Mooreovog zakona. Bez obzira razvijate li alat za ALD (Atomic Layer Deposition) sljedeće generacije ili brzi uređaj za ispitivanje pločica, temelji počinju sa ZHHIMG-om.
Zaključak
Evolucija proizvodnje poluvodiča je utrka protiv zakona fizike. Kako se industrija približava 2026. godini, fokus na preciznost zračnih ležajeva i napredno prigušenje samo će se pojačati. Ostanak ispred ovih trendova zahtijeva temelj - i doslovno i figurativno - izgrađen na stručnosti i inovacijama.
Vrijeme objave: 26. siječnja 2026.