Precizna revolucija u proizvodnji poluvodiča: Kada se granit susreće s mikronskom tehnologijom
1.1 Neočekivana otkrića u znanosti o materijalima
Prema izvješću SEMI International Semiconductor Association iz 2023. godine, 63% naprednih svjetskih tvornica počelo je koristiti granitne baze umjesto tradicionalnih metalnih platformi. Ovaj prirodni kamen, koji potječe od kondenzacije magme duboko u Zemlji, prepisuje povijest proizvodnje poluvodiča zbog svojih jedinstvenih fizičkih svojstava:
Prednost toplinske inercije: koeficijent toplinskog širenja granita od 4,5 × 10⁻⁶/℃ iznosi samo 1/5 koeficijenta toplinskog širenja nehrđajućeg čelika, a dimenzijska stabilnost od ± 0,001 mm održava se tijekom kontinuiranog rada litografskog stroja.
Karakteristike prigušivanja vibracija: koeficijent unutarnjeg trenja je 15 puta veći od onog kod lijevanog željeza, učinkovito apsorbirajući mikrovibracije opreme
Nulta magnetizacija: potpuno eliminira magnetsku pogrešku u laserskom mjerenju
1.2 Put metamorfoze od rudnika do tvornice
Uzimajući ZHHIMG-ovu inteligentnu proizvodnu bazu u Shandongu kao primjer, komad sirovog granita mora proći kroz:
Ultraprecizna obrada: petosni obradni centar za 200 sati kontinuiranog glodanja, hrapavost površine do Ra0,008μm
Umjetno starenje: 48 sati prirodnog otpuštanja naprezanja u radionici s konstantnom temperaturom i vlagom, što poboljšava stabilnost proizvoda za 40%
Drugo, razriješite šest problema preciznosti u proizvodnji poluvodiča "kameno rješenje"
2.1 Shema smanjenja stope fragmentacije pločice
Demonstracija slučaja: Nakon što je ljevaonica čipova u Njemačkoj usvojila našu granitnu platformu s plinskim plutajućim sustavom:
| Promjer pločice | smanjenje brzine čipa | poboljšanje ravnosti |
| 12 inča | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inča | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Shema probijanja točnosti litografskog poravnanja
Sustav kompenzacije temperature: ugrađeni keramički senzor prati oblik platformi u stvarnom vremenu i automatski podešava nagib platforme
Izmjereni podaci: pri fluktuaciji od 28℃±5℃, točnost ugradnje varira manje od 0,12μm
Vrijeme objave: 24. ožujka 2025.