U područjima precizne proizvodnje i znanstvenih istraživanja, ravnost preciznih granitnih platformi ključni je pokazatelj za osiguranje točnosti opreme. Slijedi detaljan uvod u nekoliko glavnih metoda detekcije i njihove postupke rada.
I. Metoda detekcije laserskim interferometrom
Laserski interferometar je preferirani alat za visokoprecizno otkrivanje ravnosti. Uzmimo za primjer laserski interferometar ZYGO GPI XP, čija rezolucija može doseći 0,1 nm. Prilikom provođenja detekcije, prvo se izvor svjetlosti interferometra poravna s platformom i površina platforme se podijeli na područja mreže 50 mm × 50 mm. Nakon toga, podaci o interferencijskim prugama prikupljeni su točku po točku, a podaci su prilagođeni i analizirani pomoću Zernikeovog polinoma kako bi se dobila pogreška ravnosti. Ova metoda primjenjiva je na visokoprecizne platforme i može otkriti pogreške ravnosti od ≤0,5 μm/m². Uobičajeno se koristi u detekciji fotolitografskih strojeva i vrhunskih platformi trokoordinatnih mjernih strojeva.
II. Metoda elektroničkog nivelmanskog niza
Detekcija pomoću elektroničke libele jednostavna je za rukovanje i vrlo učinkovita. Odabrana je elektronička libela TESA A2 (s rezolucijom od 0,01 μm/m) i raspoređena u nizu 9×9 duž smjera X/Y osi platforme. Sinkronim prikupljanjem podataka o nagibu svake libele, a zatim korištenjem metode najmanjih kvadrata za izračun, može se točno dobiti vrijednost ravnosti. Ova metoda može učinkovito identificirati lokalne uvjete konkavnosti i konveksnosti platforme. Na primjer, može se otkriti i fluktuacija od 0,2 μm unutar raspona od 50 mm, što je pogodno za brzo otkrivanje u masovnoj proizvodnji.
Iii. Metoda optičkog ravnog kristala
Metoda optičkog ravnog kristala prikladna je za detekciju platformi male površine. Optički ravni kristal čvrsto pričvrstite na površinu koja se testira na platformi i promatrajte interferencijske pruge koje se formiraju između njih pod osvjetljenjem monokromatskog izvora svjetlosti (kao što je natrijeva lampa). Ako su pruge paralelne ravne pruge, to ukazuje na dobru ravnost. Ako se pojave zakrivljene pruge, izračunajte pogrešku ravnosti na temelju stupnja zakrivljenosti pruge. Svaka zakrivljena pruga predstavlja visinsku razliku od 0,316 μm, a podaci o ravnosti mogu se dobiti jednostavnom pretvorbom.
Četvrta. Metoda inspekcije trokoordinatnog mjernog stroja
Trokoordinatni mjerni stroj može postići visokoprecizno mjerenje u trodimenzionalnom prostoru. Postavite granitnu platformu na radni stol mjernog stroja i koristite sondu za ravnomjerno prikupljanje podataka s više mjernih točaka na površini platforme. Sustav mjernog stroja obrađuje i analizira te podatke kako bi generirao izvješće o ravnosti platforme. Ova metoda ne samo da može detektirati ravnost, već i istovremeno dobiti druge geometrijske parametre platforme te je prikladna za sveobuhvatno detektiranje velikih granitnih platformi.
Savladavanje ovih metoda detekcije može vam pomoći u točnoj procjeni ravnosti precizne granitne platforme i pružiti pouzdano jamstvo za stabilan rad precizne opreme.
Vrijeme objave: 29. svibnja 2025.