U proizvodnji poluvodiča, fotolitografski stroj je ključni uređaj koji određuje preciznost čipova, a granitna baza, sa svojim višestrukim karakteristikama, postala je neizostavna komponenta fotolitografskog stroja.
Termička stabilnost: "Štit" protiv temperaturnih promjena
Kada je fotolitografski stroj u radu, on stvara veliku količinu topline. Čak i temperaturna fluktuacija od samo 0,1 ℃ može uzrokovati deformaciju komponenti opreme i utjecati na točnost fotolitografije. Koeficijent toplinskog širenja granita izuzetno je nizak, samo 4-8 × 10⁻⁶/℃, što je otprilike 1/3 koeficijenta toplinskog širenja čelika i 1/5 koeficijenta aluminijske legure. To omogućuje granitnoj bazi da održi dimenzijsku stabilnost kada fotolitografski stroj radi dulje vrijeme ili kada se temperatura okoline mijenja, osiguravajući precizno pozicioniranje optičkih komponenti i mehaničkih struktura.
Super antivibracijska izvedba: "Spužva" koja apsorbira vibracije
U tvornici poluvodiča, rad okolne opreme i kretanje ljudi mogu generirati vibracije. Granit ima visoku gustoću i tvrdu teksturu te izvrsna svojstva prigušenja, s omjerom prigušenja 2 do 5 puta većim od metala. Kada se vanjske vibracije prenose na granitnu podlogu, trenje između unutarnjih mineralnih kristala pretvara energiju vibracija u toplinsku energiju za disipaciju, što može značajno smanjiti vibracije u kratkom vremenu, omogućujući fotolitografskom stroju da brzo vrati stabilnost i izbjegne zamućenje ili neusklađenost fotolitografskog uzorka zbog vibracija.
Kemijska stabilnost: "Čuvar" čistog okoliša
Unutrašnjost fotolitografskog stroja dolazi u kontakt s raznim kemijskim medijima, a obični metalni materijali skloni su koroziji ili oslobađanju čestica. Granit se sastoji od minerala poput kvarca i feldspata. Ima stabilna kemijska svojstva i snažnu otpornost na koroziju. Nakon namakanja u kiselim i lužnatim otopinama, površinska korozija je izuzetno mala. U međuvremenu, njegova gusta struktura gotovo da ne stvara ostatke ili prašinu, zadovoljavajući zahtjeve najviših standarda čistih soba i smanjujući rizik od kontaminacije pločica.
Prilagodljivost obrade: "Idealan materijal" za stvaranje preciznih mjerila
Glavne komponente fotolitografskog stroja moraju biti instalirane na visokopreciznoj referentnoj površini. Unutarnja struktura granita je ujednačena i lako se obrađuje do izuzetno visoke preciznosti brušenjem, poliranjem i drugim tehnikama. Njegova ravnost može doseći ≤0,5 μm/m, a hrapavost površine Ra je ≤0,05 μm, što pruža preciznu osnovu za ugradnju komponenti poput optičkih leća.
Dug vijek trajanja i bez održavanja: "Oštri alati" za smanjenje troškova
U usporedbi s metalnim materijalima koji su skloni zamoru i pucanju tijekom dugotrajne upotrebe, granit se pod normalnim opterećenjima teško plastično deformira ili lomi, te ne zahtijeva površinsku obradu, čime se izbjegava rizik od ljuštenja i kontaminacije premaza. U praktičnoj primjeni, nakon dugi niz godina korištenja, ključni pokazatelji performansi granitne baze i dalje mogu ostati stabilni, smanjujući troškove rada i održavanja opreme.
Od toplinske stabilnosti, otpornosti na vibracije do kemijske inertnosti, višestruke karakteristike granitne baze savršeno zadovoljavaju zahtjeve fotolitografskog stroja. Kako se proces proizvodnje čipova nastavlja razvijati prema većoj preciznosti, granitne baze će i dalje igrati nezamjenjivu ulogu u području proizvodnje poluvodiča.
Vrijeme objave: 20. svibnja 2025.