U radionici za proizvodnju poluvodiča, zahtjevi procesa proizvodnje čipova za uvjete okoline i točnost opreme su ekstremni, a svako malo odstupanje može dovesti do značajnog pada prinosa čipa. XYZT platforma za precizno kretanje portala oslanja se na granitne komponente koje surađuju s drugim dijelovima platforme kako bi se izgradio čvrst temelj za postizanje nanoskalne točnosti.
Izvrsna svojstva blokiranja vibracija
U radionici za proizvodnju poluvodiča, rad periferne opreme i kretanje osoblja mogu uzrokovati vibracije. Unutarnja struktura granitnih komponenti je gusta i ujednačena, s prirodnim visokim karakteristikama prigušenja, poput učinkovite vibracijske "barijere". Kada se vanjske vibracije prenose na XYZT platformu, granitna komponenta može učinkovito prigušiti više od 80% energije vibracija i smanjiti utjecaj vibracija na točnost kretanja platforme. Istovremeno, platforma je opremljena visokopreciznim sustavom zračnog plovka, koji radi zajedno s granitnim komponentama. Zračni plovak koristi stabilan plinski film koji tvori plin pod visokim tlakom za ostvarivanje beskontaktnog kretanja ovjesa pokretnih dijelova platforme i smanjenje malih vibracija uzrokovanih mehaničkim trenjem. Zajedno, to dvoje osigurava da se točnost pozicioniranja platforme uvijek održava na nanometarskoj razini u ključnim procesima kao što su litografija čipa i jetkanje, te izbjegava odstupanja uzoraka krugova čipa uzrokovana vibracijama.
Izvrsna toplinska stabilnost
Fluktuacija temperature i vlažnosti u radionici ima veliki utjecaj na točnost opreme za proizvodnju čipova. Koeficijent toplinskog širenja granita je vrlo nizak, općenito 5-7 ×10⁻⁶/℃, veličina se gotovo ne mijenja kada se temperatura promijeni. Čak i ako temperaturna razlika između dana i noći u radionici ili proizvodnja topline opreme uzrokuje fluktuacije temperature okoline, granitne komponente mogu ostati stabilne kako bi se spriječila deformacija platforme zbog toplinskog širenja i skupljanja. Istovremeno, inteligentni sustav kontrole temperature opremljen platformom prati temperaturu okoline u stvarnom vremenu, automatski podešava klimatizaciju i opremu za odvođenje topline te održava temperaturu radionice na 20 °C ±1 °C. U kombinaciji s prednostima toplinske stabilnosti granita, osigurava se da platforma u dugotrajnom radu, točnost kretanja svake osi uvijek zadovoljava nanometarske standarde preciznosti za proizvodnju čipova, kako bi se osigurala točnost veličine uzorka litografije čipa, a dubina nagrizanja ujednačena.
Zadovoljite potrebe čistog okoliša
U radionici za proizvodnju poluvodiča potrebno je održavati visok stupanj čistoće kako bi se spriječilo onečišćenje čipa česticama prašine. Sam granit ne proizvodi prašinu, a površina je glatka i ne upija lako prašinu. Platforma u cjelini ima potpuno zatvorenu ili poluzatvorenu strukturu kako bi se smanjio ulazak vanjske prašine. Unutarnji sustav cirkulacije zraka povezan je sa sustavom čiste klimatizacije radionice kako bi se osiguralo da čistoća unutarnjeg zraka dostigne razinu potrebnu za proizvodnju čipova. U ovom čistom okruženju, granitne komponente neće utjecati na performanse zbog erozije prašine, a ključne komponente poput visokopreciznih senzora i motora platforme također mogu stabilno raditi, pružajući kontinuirano i pouzdano jamstvo nanoskalne točnosti za proizvodnju čipova i pomažući industriji poluvodiča da prijeđe na višu razinu procesa.
Vrijeme objave: 14. travnja 2025.