U području inspekcije poluvodičkih pločica, čistoća čistog okruženja izravno je povezana s prinosom proizvoda. Kako se preciznost procesa proizvodnje čipova nastavlja poboljšavati, zahtjevi za platforme za nošenje opreme za detekciju postaju sve stroži. Granitne platforme, sa svojim karakteristikama nultog oslobađanja metalnih iona i niskog onečišćenja česticama, nadmašile su tradicionalne materijale od nehrđajućeg čelika i postale preferirano rješenje za opremu za inspekciju pločica.
Granit je prirodna magmatska stijena koja se uglavnom sastoji od nemetalnih minerala poput kvarca, feldspata i tinjca. Ova karakteristika daje mu prednost nultog oslobađanja metalnih iona. Nasuprot tome, nehrđajući čelik, kao legura metala poput željeza, kroma i nikla, sklon je elektrokemijskoj koroziji na svojoj površini zbog erozije vodene pare i kiselih ili alkalnih plinova u okruženju čiste sobe, što rezultira taloženjem metalnih iona poput Fe²⁺ i Cr³⁺. Nakon što se ovi sitni ioni vežu za površinu pločice, promijenit će električna svojstva poluvodičkog materijala u kasnijim procesima poput fotolitografije i jetkanja, uzrokovati pomak praga napona tranzistora, pa čak i dovesti do kratkih spojeva u krugu. Podaci ispitivanja profesionalnih institucija pokazuju da je nakon što je granitna platforma kontinuirano bila izložena simuliranoj temperaturi i vlažnosti čiste sobe (23±0,5℃, 45%±5% RH) tijekom 1000 sati, oslobađanje metalnih iona bilo niže od granice detekcije (< 0,1ppb). Stopa defekata pločica uzrokovanih kontaminacijom metalnim ionima pri korištenju platformi od nehrđajućeg čelika može doseći i do 15% do 20%.
Što se tiče kontrole onečišćenja česticama, granitne platforme također se iznimno dobro ponašaju. Čiste sobe imaju izuzetno visoke zahtjeve za koncentraciju suspendiranih čestica u zraku. Na primjer, u čistim sobama ISO klase 1, broj čestica od 0,1 μm dopušten po kubnom metru ne prelazi 10. Čak i ako je platforma od nehrđajućeg čelika prošla tretman poliranja, i dalje može proizvesti metalne ostatke ili oksidne naslage koje se ljušte zbog vanjskih sila poput vibracija opreme i rada osoblja, što može ometati optički put detekcije ili ogrebati površinu pločice. Granitne platforme, sa svojom gustom mineralnom strukturom (gustoća ≥2,7 g/cm³) i visokom tvrdoćom (6-7 na Mohsovoj ljestvici), nisu sklone trošenju ili lomljenju tijekom dugotrajne upotrebe. Izmjerena mjerenja pokazuju da mogu smanjiti koncentraciju suspendiranih čestica u zraku područja opreme za detekciju za više od 40% u usporedbi s platformama od nehrđajućeg čelika, učinkovito održavajući standarde čistoće.
Osim čistih karakteristika, sveobuhvatne performanse granitnih platformi daleko nadmašuju one od nehrđajućeg čelika. Što se tiče toplinske stabilnosti, njihov koeficijent toplinskog širenja iznosi samo (4-8) × 10⁻⁶/℃, što je manje od polovice koeficijenta toplinskog širenja nehrđajućeg čelika (oko 17 × 10⁻⁶/℃), što omogućuje bolje održavanje točnosti pozicioniranja opreme za detekciju kada temperatura u čistoj sobi fluktuira. Visoka karakteristika prigušenja (omjer prigušenja > 0,05) može brzo ublažiti vibracije opreme i spriječiti podrhtavanje sonde za detekciju. Prirodna otpornost na koroziju omogućuje im da ostanu stabilni čak i kada su izloženi fotorezistnim otapalima, plinovima za jetkanje i drugim kemikalijama bez potrebe za dodatnom zaštitom premazom.
Trenutno se granitne platforme široko koriste u naprednim tvornicama za proizvodnju pločica. Podaci pokazuju da se nakon usvajanja granitne platforme stopa pogrešnih procjena u detekciji čestica na površini pločice smanjila za 60%, ciklus kalibracije opreme produžio se za tri puta, a ukupni trošak proizvodnje pao je za 25%. Kako se industrija poluvodiča kreće prema većoj preciznosti, granitne platforme, sa svojim ključnim prednostima kao što su nulto oslobađanje metalnih iona i nisko onečišćenje česticama, nastavit će pružati stabilnu i pouzdanu podršku za inspekciju pločica, postajući važna snaga koja pokreće napredak industrije.
Vrijeme objave: 20. svibnja 2025.