U području proizvodnje poluvodiča, submikronska preciznost je ključna za osiguranje performansi čipa, a granitna baza (ZHHIMG®), sa svojim svojstvima materijala, preciznom obradom i inovativnim dizajnom, postala je glavno jamstvo za postizanje te preciznosti.
S gledišta svojstava materijala, crni granit koji je odabrao ZHHIMG® ima gustoću od približno 3100 kg/m³, s gustom unutarnjom strukturom. Ova visoka gustoća daje mu izvanrednu stabilnost i krutost. Tijekom rada poluvodičke opreme, rotacija motora i kretanje mehaničkih komponenti unutar opreme generirat će vibracije. Granitna baza može učinkovito apsorbirati preko 90% energije vibracija, značajno smanjujući utjecaj vibracija na točnost opreme. U međuvremenu, njegov izuzetno nizak koeficijent toplinskog širenja omogućuje mu da zadrži svoju deformaciju unutar vrlo malog raspona kada temperatura okoline fluktuira, pružajući stabilnu podlogu za poluvodičku opremu i sprječavajući pomicanje komponenti opreme zbog promjena temperature, što bi moglo utjecati na točnost.
Što se tiče obrade i proizvodnje, tvornica ZHHIMG® koristi međunarodnu naprednu opremu za obradu i ima četiri super velika brusilice (svaki stroj košta preko 500.000 USD), koje mogu izvoditi visokoprecizno brušenje granita. Pomoću CNC obrade s pet osi i drugih procesa, ravnost baze stroja može doseći nanometarsku razinu, pružajući ultra ravnu referentnu površinu za ugradnju poluvodičke opreme i osiguravajući precizno pozicioniranje svake komponente opreme. Štoviše, radionica s konstantnom temperaturom i vlagom (površine 10.000 četvornih metara) pruža stabilno okruženje za obradu. Antivibracijski rovovi oko nje širine 500 mm i dubine 2000 mm, kao i tihe dizalice, učinkovito izoliraju vanjske vibracijske smetnje i osiguravaju točnost obrade baze stroja.
Osim toga, ZHHIMG® također ima snažne mogućnosti prilagodbe. Za posebne zahtjeve poluvodičke opreme, precizni otvori za ugradnju i kabelski kanali mogu se unaprijed izraditi kako bi se postigla savršena kompatibilnost između opreme i baze. Istovremeno, u kombinaciji s vrhunskom metrološkom i ispitnom opremom kao što su njemački Mahr minutni mjerač (s točnošću od 0,5 μm) i švicarska elektronička libela WYLER, baza stroja se strogo pregledava i kalibrira kako bi se osiguralo da svaka baza stroja može zadovoljiti stroge zahtjeve poluvodičke opreme za točnost na razini submikrona.
Upravo kombinacija ovih prednosti čini ZHHIMG® granitnu bazu pouzdanim izborom za postizanje submikronske preciznosti u poluvodičkoj opremi, pomažući proizvodnji poluvodiča da se približi područjima veće preciznosti.
Vrijeme objave: 18. lipnja 2025.