U područjima kao što su proizvodnja poluvodiča i precizni mjerni instrumenti, točnost preciznih granitnih platformi izravno određuje radnu kvalitetu opreme. Kako bi se osiguralo da točnost platforme zadovoljava standarde, treba uložiti napore s dva aspekta: otkrivanje ključnih pokazatelja i usklađenost sa standardnim normama.
Detekcija temeljnih indikatora: Višedimenzionalna kontrola točnosti
Detekcija ravnosti: Određivanje "ravnosti" referentne ravnine
Ravnost je glavni pokazatelj preciznih granitnih platformi i obično se mjeri laserskim interferometrima ili elektroničkim libelama. Laserski interferometar može precizno izmjeriti sitne neravnine na površini platforme emitiranjem laserske zrake i korištenjem principa interferencije svjetlosti, s točnošću koja doseže submikronsku razinu. Elektronička libela mjeri višestrukim pomicanjem i crta trodimenzionalnu konturnu kartu površine platforme kako bi otkrila postoje li lokalne izbočine ili udubljenja. Na primjer, granitne platforme koje se koriste u strojevima za poluvodičku fotolitografiju moraju imati ravnost od ±0,5 μm/m, što znači da razlika u visini unutar duljine od 1 metra ne smije prelaziti pola mikrometra. Samo visokopreciznom opremom za detekciju može se osigurati ovaj strogi standard.
2. Detekcija pravocrtnosti: Osigurajte "pravocrtnost" linearnog gibanja
Za platforme koje nose precizne pokretne dijelove, ravnost je od vitalne važnosti. Uobičajene metode detekcije su žičana metoda ili laserski kolimator. Žičana metoda uključuje vješanje visokopreciznih čeličnih žica i usporedbu razmaka između površine platforme i čeličnih žica kako bi se odredila ravnost. Laserski kolimator koristi linearne karakteristike širenja lasera za detekciju linearne pogreške površine ugradnje vodilice platforme. Ako ravnost ne zadovoljava standard, to će uzrokovati pomicanje opreme tijekom kretanja, što utječe na točnost obrade ili mjerenja.
3. Detekcija hrapavosti površine: Osigurajte "finoću" kontakta
Hrapavost površine platforme utječe na pristajanje komponenti na instalaciju. Općenito se za detekciju koristi mjerač hrapavosti sa stilusom ili optički mikroskop. Instrument tipa stilusa bilježi promjene visine mikroskopskog profila dodirivanjem površine platforme finom sondom. Optički mikroskopi mogu izravno promatrati teksturu površine. U visokopreciznim primjenama, hrapavost površine granitnih platformi mora se kontrolirati na Ra≤0,05 μm, što je ekvivalentno efektu zrcala, osiguravajući da precizne komponente čvrsto pristaju tijekom instalacije i izbjegavajući vibracije ili pomicanje uzrokovano prazninama.
Standardi preciznosti slijede: međunarodne norme i internu kontrolu poduzeća
Trenutno se međunarodno standardi ISO 25178 i GB/T 24632 obično koriste kao osnova za određivanje točnosti granitnih platformi, a postoje jasne klasifikacije za pokazatelje poput ravnosti i ravnosti. Osim toga, vrhunska proizvodna poduzeća često postavljaju strože standarde interne kontrole. Na primjer, zahtjev za ravnošću granitne platforme fotolitografskog stroja je 30% viši od međunarodnog standarda. Prilikom provođenja ispitivanja, izmjereni podaci trebaju se usporediti s odgovarajućim standardima. Samo platforme koje u potpunosti zadovoljavaju standarde mogu osigurati stabilne performanse precizne opreme.
Ispitivanje točnosti preciznih granitnih platformi sustavni je projekt. Samo strogim ispitivanjem ključnih pokazatelja poput ravnosti, ravnosti i hrapavosti površine, te pridržavanjem međunarodnih i poslovnih standarda, može se zajamčiti visoka preciznost i pouzdanost platforme, postavljajući čvrste temelje za vrhunska proizvodna područja poput poluvodiča i preciznih instrumenata.
Vrijeme objave: 21. svibnja 2025.