Granit je tvrd i izdržljiv materijal koji se često koristi u građevinskoj industriji. Međutim, također ima svojstva koja ga čine korisnima u proizvodnji poluvodiča, posebno u izradi i obradi integriranih krugova. Granitne komponente, poput granitnih stolova i granitnih blokova, široko se koriste za njihovu stabilnost, ravan i nizak koeficijent toplinske ekspanzije.
Jedna od glavnih uporaba granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča je u procesu izrade. Silikonski vafri, osnovni građevni blokovi integriranih krugova, moraju biti izrađeni s visokom preciznošću i točnošću. Svako izobličenje ili kretanje tijekom postupka može dovesti do oštećenja koje mogu utjecati na kvalitetu i funkcionalnost integriranih krugova. Granitni stolovi, s njihovom visokom stabilnošću i ravnom, pružaju dobru platformu za opremu za obradu vafera. Oni su također otporni na toplinsku ekspanziju i kontrakciju uzrokovanu grijanjem i hlađenjem potrebnim u tom procesu.
Granitni blokovi također se koriste u poluvodičkoj obradi za njihovu toplinsku stabilnost. Tijekom procesa jetkanja ili taloženja, za modificiranje površine silikonske rezine koriste se vrući plinovi ili plazme. Temperaturu vafera treba kontrolirati kako bi se osiguralo da se postupak provodi učinkovito i točno. Granitni blokovi, s njihovim niskim koeficijentom toplinske ekspanzije, pomažu u stabilizaciji temperature vafera, smanjujući rizik od temperaturnih fluktuacija koje bi mogle utjecati na kvalitetu prerađenog materijala.
Osim procesa izrade i obrade, granitne komponente koriste se i u fazama metrologije i inspekcije za proizvodnju poluvodiča. Izrađena su mjerenja metrologije kako bi se osiguralo da su veličina, oblik i položaj struktura na vaferu unutar potrebnih specifikacija. Granitni blokovi koriste se kao referentni standardi u tim mjerenjima zbog dimenzijske stabilnosti i točnosti. Također se koriste u fazama inspekcije, gdje se kvaliteta integriranih krugova provjerava pod velikim povećanjem.
Općenito, upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča povećala se posljednjih godina. Potreba za visokom preciznošću, točnošću i stabilnošću u izradi i obradi integriranih krugova pokrenula je usvajanje ovih materijala od strane proizvođača poluvodiča. Jedinstvena svojstva granita, poput njegove tvrdoće, stabilnosti i koeficijenta niskog toplinskog ekspanzije, čine ga odličnim izborom za upotrebu u tim procesima. S kontinuiranim razvojem i poboljšanjem poluvodičke tehnologije, očekuje se da će upotreba granitnih komponenti u budućnosti dalje rasti.
Vrijeme posta: dec-05-2023