Granit je tvrdi i izdržljivi materijal koji se često koristi u građevinskoj industriji. Međutim, ima i svojstva koja ga čine korisnim u proizvodnji poluvodiča, posebno u izradi i obradi integriranih krugova. Granitne komponente, poput granitnih stolova i granitnih blokova, široko se koriste zbog svoje stabilnosti, ravnosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja.
Jedna od primarnih upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča je u procesu izrade. Silicijske pločice, osnovni građevni blokovi integriranih krugova, moraju se izrađivati s visokom preciznošću i točnošću. Svako izobličenje ili pomicanje tijekom procesa može dovesti do nedostataka koji mogu utjecati na kvalitetu i funkcionalnost integriranih krugova. Granitni stolovi, sa svojom visokom stabilnošću i ravnošću, pružaju dobru platformu za opremu za obradu pločica. Također su otporni na toplinsko širenje i skupljanje uzrokovano zagrijavanjem i hlađenjem potrebnim u procesu.
Granitni blokovi se također koriste u obradi poluvodiča zbog svoje toplinske stabilnosti. Tijekom procesa jetkanja ili taloženja, vrući plinovi ili plazme koriste se za modificiranje površine silicijske pločice. Temperaturu pločice potrebno je kontrolirati kako bi se osiguralo da se proces provodi učinkovito i točno. Granitni blokovi, sa svojim niskim koeficijentom toplinskog širenja, pomažu u stabilizaciji temperature pločice, smanjujući rizik od temperaturnih fluktuacija koje bi mogle utjecati na kvalitetu obrađenog materijala.
Osim procesa izrade i obrade, granitne komponente se također koriste u fazama metrologije i inspekcije proizvodnje poluvodiča. Metrološka mjerenja se provode kako bi se osiguralo da su veličina, oblik i položaj struktura na pločici unutar potrebnih specifikacija. Granitni blokovi se koriste kao referentni standardi u tim mjerenjima zbog svoje dimenzijske stabilnosti i točnosti. Također se koriste u fazama inspekcije, gdje se kvaliteta integriranih krugova provjerava pod velikim povećanjem.
Općenito, upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča povećala se posljednjih godina. Potreba za visokom preciznošću, točnošću i stabilnošću u izradi i obradi integriranih krugova potaknula je proizvođače poluvodiča na usvajanje ovih materijala. Jedinstvena svojstva granita, poput tvrdoće, stabilnosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja, čine ga izvrsnim izborom za upotrebu u tim procesima. S kontinuiranim razvojem i poboljšanjem poluvodičke tehnologije, očekuje se da će upotreba granitnih komponenti u budućnosti još više rasti.
Vrijeme objave: 05.12.2023.