Granitni materijali se široko koriste u poluvodičkoj industriji zbog svojih izvrsnih karakteristika, kao što su visoka stabilnost, nisko toplinsko širenje i visoka otpornost na koroziju. Ta svojstva čine granit idealnim materijalom za izradu visokopreciznih komponenti u sustavima za prijenos pločica.
U procesu proizvodnje poluvodiča, sustav za prijenos pločica igra ključnu ulogu u transportu pločica kroz različite faze proizvodnog procesa. Preciznost i točnost su bitni zahtjevi za ove sustave jer čak i mala odstupanja mogu ugroziti cijeli proces. Stoga komponente u sustavu za prijenos pločica moraju biti izrađene od visokokvalitetnih materijala, a granit ispunjava te kriterije.
Neki dijelovi sustava za prijenos pločica izrađeni su od granitnih materijala:
1. Stol vakuumske stezne glave
Vakuumski stol za stezanje koristi se za držanje pločice tijekom procesa i mora imati stabilnu površinu kako bi se osiguralo da se pločica ne ošteti. Granit je idealan materijal za izradu ovog stola jer ima ravnu, neporoznu površinu koja pruža visoku stabilnost i preciznost. Osim toga, granit ima nizak koeficijent toplinskog širenja, što ga čini otpornim na promjene temperature koje bi mogle uzrokovati dimenzijske promjene u pločici.
2. Faza zračnog ležaja
Zračni ležaj koristi se za transport pločice kroz različite faze proizvodnog procesa. Konstruiran je tako da omogućuje kretanje bez trenja, što zahtijeva visoku preciznost i stabilnost. Granit se koristi u ovoj primjeni jer je krut i tvrd kamen te je otporan na deformacije i trošenje tijekom vremena.
3. Vodilice linearnog gibanja
Linearne vodilice koriste se za vođenje zračnog ležaja i moraju biti precizno pozicionirane kako bi se pogreške smanjile. Za izradu ove vodilice koristi se granit jer ima izvrsnu mehaničku stabilnost i čvrstoću. Materijal je također otporan na koroziju, što osigurava dugotrajnost sustava vodilica.
4. Mjeriteljska oprema
Mjeriteljska oprema koristi se za mjerenje dimenzija i svojstava pločice tijekom proizvodnog procesa. Granit je idealan materijal za izradu ove opreme jer ima visoku krutost, nisko širenje i minimalnu deformaciju pod opterećenjem. Štoviše, toplinska stabilnost granita osigurava da mjeriteljska oprema ostane stabilna i točna tijekom vremena.
Zaključno, poluvodička industrija oslanja se na preciznost i točnost, a granitni materijali pokazali su se vrlo pouzdanima i stabilnima u proizvodnom procesu. S obzirom na to da mnoge kritične komponente u sustavu prijenosa pločica zahtijevaju visoku stabilnost, preciznost i nisko toplinsko širenje, inženjeri su se okrenuli granitnim materijalima kako bi ispunili te kritične zahtjeve.
Vrijeme objave: 19. ožujka 2024.