Granitni materijali naširoko se koriste u industriji poluvodiča zbog svojih izvrsnih karakteristika, poput visoke stabilnosti, niske toplinske ekspanzije i visoke otpornosti na koroziju.Ova svojstva čine granit idealnim materijalom za izradu visokopreciznih komponenti u sustavu prijenosa pločica.
U procesu proizvodnje poluvodiča, sustav prijenosa pločica igra ključnu ulogu u transportu pločica kroz različite faze proizvodnog procesa.Preciznost i točnost ključni su zahtjevi za ove sustave jer čak i mala odstupanja mogu ugroziti cijeli proces.Stoga komponente u sustavu prijenosa wafera moraju biti izrađene od visokokvalitetnih materijala, a granit ispunjava te kriterije.
Neki dijelovi sustava za prijenos pločica koji su izrađeni od granitnih materijala uključuju:
1. Vakuumski stol za stezanje
Stol za vakuumsku steznu glavu koristi se za držanje pločice tijekom procesa i mora imati stabilnu površinu kako se pločica ne bi oštetila.Granit je idealan materijal za izradu ovog stola jer ima ravnu, neporoznu površinu koja pruža visoku stabilnost i preciznost.Dodatno, granit ima nizak koeficijent toplinskog širenja, što ga čini otpornim na temperaturne promjene koje mogu uzrokovati promjene dimenzija ploče.
2. Stadij koji nosi zrak
Stupanj sa zrakom koristi se za transport pločice kroz različite faze proizvodnog procesa.Pozornica je projektirana da omogući kretanje bez trenja, što zahtijeva visoku preciznost i stabilnost.Granit se koristi u ovoj primjeni jer je krut i tvrd kamen te je otporan na deformacije i trošenje tijekom vremena.
3. Vodilice linearnog gibanja
Vodilice linearnog gibanja koriste se za vođenje stupnja sa zračnim ležajem i moraju biti točno postavljene kako bi se pogreške svele na minimum.Za izradu ove vodilice koristi se granit jer ima izvrsnu mehaničku stabilnost i čvrstoću.Materijal je također otporan na koroziju, što osigurava dugovječnost sustava vodilica.
4. Mjeriteljska oprema
Mjeriteljska oprema koristi se za mjerenje dimenzija i svojstava pločice tijekom procesa proizvodnje.Granit je idealan materijal za izradu ove opreme jer ima visoku krutost, malu ekspanziju i minimalnu deformaciju pod opterećenjem.Štoviše, toplinska stabilnost granita osigurava da mjeriteljska oprema ostane stabilna i točna tijekom vremena.
Zaključno, industrija poluvodiča oslanja se na preciznost i točnost, a granitni materijali su se pokazali vrlo pouzdanim i stabilnim u procesu proizvodnje.Uz mnoge kritične komponente u sustavu prijenosa pločica koje zahtijevaju visoku stabilnost, preciznost i nisko toplinsko širenje, inženjeri su se okrenuli granitnim materijalima kako bi ispunili te kritične zahtjeve.
Vrijeme objave: 19. ožujka 2024