Granitni krevet važna je komponenta na raznim poluvodičkim uređajima. Kao vrlo stabilan i kruti materijal, granit se široko koristi kao baza za opremu za preradu poluvodiča. Karakterizira ga niska koeficijent toplinske ekspanzije, stabilnost visoke dimenzije i izvrsna mehanička svojstva. Zbog ovih svojstava granitni krevet se najčešće koristi u tri različite vrste poluvodičkih uređaja - oprema za metrološku opremu, litografsku opremu i opremu za inspekciju.
Metrološka oprema koristi se za mjerenje i otkrivanje kritičnih dimenzija poluvodičkih uređaja. Igra ključnu ulogu u održavanju kvalitete i dosljednosti procesa proizvodnje poluvodiča. Metrološka oprema uključuje instrumente poput optičkih mikroskopa, elektronskih mikroskopa i mikroskopa atomske sile (AFMS). Budući da izvedba ovih instrumenata za mjerenje ovisi o njihovoj stabilnosti, preciznosti i otpornosti na vibraciju, granit je idealan izbor za njihov materijal za krevet. Ujednačenost i stabilnost granitnog sloja pružaju stabilnu platformu za instrumente, što povećava njihovu točnost i pouzdanost.
Oprema za litografiju koristi se za izradu mikročip uzoraka na rezinu. Proces litografije zahtijeva visoku razinu preciznosti i točnosti za stvaranje složenih krugova i poboljšanja performansi čipova. Oprema za litografiju uključuje stepper i skenerske sustave koji koriste svjetlost za prijenos slika na vafer. Kako je proces litografije vrlo osjetljiv na vibracije i toplinske promjene, visokokvalitetni sloj je ključan kako bi se osigurala stabilnost i ponovljivost procesa litografije. Granitni kreveti pružaju potrebnu stabilnost i stroge vibracije prigušivanja performansi za litografske sustave. Granitni sloj omogućuje steraču ili sustavu skenera da održava precizne prostorne odnose osiguravajući visoku točnost i konačnu kvalitetu proizvoda.
Inspekcijska oprema koristi se za otkrivanje oštećenja na uređajima poluvodiča. Inspekcijska oprema uključuje sustave kao što su lasersko skeniranje mikroskopa, elektronskih mikroskopa i optičkih mikroskopa. Uz potrebu da ti uređaji budu vrlo precizni, stabilni i vibracijski otporni, granitni kreveti su savršeni materijal. Granitni mehanička svojstva i dimenzionalna stabilnost pomažu u izolaciji vibracija, što povećava točnost izlaza inspekcijske opreme.
Zaključno, granitni krevet je presudan za industriju poluvodiča i široko se koristi u različitim vrstama opreme. Njegova jedinstvena svojstva kao što su dimenzijska stabilnost, niski koeficijent toplinske ekspanzije i izvrsna mehanička stabilnost čine granitom idealnim izborom za materijal za krevet opreme za poluvodi. Budući da visokokvalitetni granitni sloj pruža potrebnu stabilnost, preciznost i otpornost na vibraciju na poluvodičkoj opremi, on u konačnici poboljšava kvalitetu konačnog proizvoda. Stoga će se upotreba granitnog sloja u poluvodičkoj opremi zasigurno nastaviti godinama koje dolaze.
Vrijeme posta: travanj-03-2024