Granitna podloga važna je komponenta u raznim poluvodičkim uređajima. Kao vrlo stabilan i krut materijal, granit se široko koristi kao baza za opremu za obradu poluvodiča. Karakterizira ga niski koeficijent toplinskog širenja, visoka dimenzijska stabilnost i izvrsna mehanička svojstva. Zbog tih svojstava, granitna podloga najčešće se koristi u tri različite vrste poluvodičkih uređaja - mjeriteljskoj opremi, litografskoj opremi i opremi za inspekciju.
Mjeriteljska oprema koristi se za mjerenje i detekciju kritičnih dimenzija poluvodičkih uređaja. Igra ključnu ulogu u održavanju kvalitete i dosljednosti procesa proizvodnje poluvodiča. Mjeriteljska oprema uključuje instrumente poput optičkih mikroskopa, elektronskih mikroskopa i mikroskopa atomske sile (AFM). Budući da performanse ovih mjernih instrumenata ovise o njihovoj stabilnosti, preciznosti i otpornosti na vibracije, granit je idealan izbor za materijal njihovog ležišta. Ujednačenost i stabilnost granitnog ležišta pružaju stabilnu platformu za instrumente, što povećava njihovu točnost i pouzdanost.
Litografska oprema koristi se za izradu uzoraka mikročipova na pločici. Proces litografije zahtijeva visoku razinu preciznosti i točnosti kako bi se stvorili složeni sklopovi i poboljšale performanse čipa. Litografska oprema uključuje stepper i skaner sustave koji koriste svjetlost za prijenos slika na pločicu. Budući da je proces litografije vrlo osjetljiv na vibracije i toplinske promjene, visokokvalitetni krevet je ključan za osiguranje stabilnosti i ponovljivosti procesa litografije. Granitni kreveti pružaju potrebnu stabilnost i stroge performanse prigušenja vibracija za litografske sustave. Granitni krevet omogućuje stepperu ili skaner sustavu da održava precizne prostorne odnose, osiguravajući visoku točnost i kvalitetu konačnog proizvoda.
Oprema za inspekciju koristi se za otkrivanje bilo kakvih nedostataka u poluvodičkim uređajima. Oprema za inspekciju uključuje sustave kao što su laserski skenirajući mikroskopi, elektronski mikroskopi i optički mikroskopi. S obzirom na potrebu da ovi uređaji budu vrlo točni, stabilni i otporni na vibracije, granitne podloge su savršen materijal. Mehanička svojstva i dimenzijska stabilnost granita pomažu u izolaciji vibracija, što povećava točnost rezultata opreme za inspekciju.
Zaključno, granitna podloga ključna je za poluvodičku industriju i široko se koristi u različitim vrstama opreme. Njegova jedinstvena svojstva poput dimenzijske stabilnosti, niskog koeficijenta toplinskog širenja i izvrsne mehaničke stabilnosti čine granit idealnim izborom za materijal podloge poluvodičke opreme. Budući da visokokvalitetna granitna podloga pruža potrebnu stabilnost, preciznost i otpornost na vibracije poluvodičke opreme, u konačnici poboljšava kvalitetu konačnog proizvoda. Stoga će se upotreba granitne podloge u poluvodičkoj opremi sigurno nastaviti godinama koje dolaze.
Vrijeme objave: 03.04.2024.