Proizvodnja poluvodiča: U procesu proizvodnje čipova, proces fotolitografije mora precizno prenijeti uzorak kruga na pločicu. Granitna baza jednoosnog modula za ultraprecizno kretanje zraka može osigurati visoku preciznost pozicioniranja i stabilnu potporu za stol pločice u litografskoj opremi. Na primjer, ASML i drugi međunarodno poznati proizvođači litografskih strojeva koriste module za kretanje zraka zraka s granitnom bazom u svojoj vrhunskoj opremi, koja može kontrolirati točnost pozicioniranja pločice na nanometarskoj razini kako bi se osigurala točnost litografskog uzorka, čime se poboljšava integracija i performanse čipa.
Područje preciznog mjerenja: CMM je precizna mjerna oprema koja se obično koristi u industrijskoj proizvodnji, a koristi se za mjerenje veličine, oblika i točnosti položaja obratka. Ultraprecizni modul gibanja jednoosnog zračnog plovka na granitnoj podlozi može se koristiti kao platforma za gibanje CMM-a, koja može ostvariti visokoprecizno linearno gibanje i osigurati stabilnu putanju gibanja mjerne sonde. Na primjer, Hexagonov vrhunski CMM koristi ovu kombinaciju za mjerenje velikih i složenih dijelova s točnošću mjerenja do mikronske razine, pružajući snažno jamstvo za kontrolu kvalitete dijelova u automobilskoj, zrakoplovnoj i drugim industrijama.
Zrakoplovno područje: U obradi i ispitivanju zrakoplovnih dijelova potrebna je visoka preciznost. Na primjer, obrada lopatica zrakoplovnih motora zahtijeva preciznu kontrolu putanje kretanja alata kako bi se osigurala točnost profila lopatice. Granitna baza jednoosnog ultrapreciznog modula za kretanje zračnim plutanjem može se primijeniti na petosni obradni centar i drugu opremu kako bi se osigurala visokoprecizna kontrola gibanja alata i osiguralo da točnost obrade lopatice može zadovoljiti zahtjeve dizajna. Istovremeno, u procesu montaže zrakoplovnog motora, također je potrebno koristiti visokopreciznu mjernu opremu za utvrđivanje točnosti montaže dijelova. Modul za kretanje zračnim plutanjem granitne baze može pružiti stabilnu potporu i točno kretanje mjerne opreme kako bi se osigurala kvaliteta montaže.
Područje optičke inspekcije: U procesu proizvodnje i testiranja optičkih komponenti potrebno je izvršiti visokoprecizno pozicioniranje i mjerenje optičkih komponenti. Na primjer, prilikom proizvodnje visokopreciznih optičkih komponenti poput zrcala i leća, potrebno je koristiti interferometre i drugu opremu za detekciju točnosti oblika površine. Granitna baza modula ultrapreciznog gibanja s jednom osi može se koristiti kao platforma za kretanje interferometra, što može postići submikronsku točnost pozicioniranja i pružiti točnu podatkovnu podršku za detekciju optičkih komponenti. Osim toga, u opremi za lasersku obradu potrebno je koristiti i visokopreciznu platformu za kretanje za kontrolu putanje skeniranja laserske zrake, a granitna baza modula ultrapreciznog gibanja može ispuniti ovaj zahtjev kako bi se postigla visokoprecizna laserska obrada.
Vrijeme objave: 07.04.2025.