Granitne komponente široko su korištene u procesu proizvodnje poluvodiča zbog svojih izvrsnih karakteristika poput vrhunske površinske završne obrade, visoke krutosti i izvrsnog prigušivanja vibracija. Granitne komponente ključne su za opremu za izradu poluvodiča, uključujući litografske strojeve, strojeve za poliranje i metrološke sustave jer pružaju precizno pozicioniranje i stabilnost tijekom proizvodnog procesa. Unatoč svim prednostima korištenja granitnih komponenti, oni također imaju nedostatke. U ovom ćemo članku raspravljati o nedostacima granitnih komponenti za proizvode za proizvodnju poluvodiča.
Prvo, granitne komponente imaju visoki koeficijent toplinske ekspanzije. To znači da se značajno proširuju pod toplinskim stresom, što bi moglo uzrokovati probleme tijekom proizvodnog procesa. Proces proizvodnje poluvodiča zahtijeva visoku preciznost i dimenzionalnu točnost koja bi mogla biti ugrožena zbog toplinskog stresa. Na primjer, deformacija silicijskog vafera zbog toplinskog širenja može uzrokovati probleme usklađivanja tijekom litografije, što bi moglo ugroziti kvalitetu poluvodičkog uređaja.
Drugo, granitne komponente imaju oštećenja poroznosti koje bi mogle uzrokovati curenje vakuuma u procesu proizvodnje poluvodiča. Prisutnost zraka ili bilo kojeg drugog plina u sustavu moglo bi uzrokovati kontaminaciju na površini vafera, što rezultira oštećenjima koje bi mogle utjecati na performanse poluvodičkog uređaja. Inertni plinovi poput argona i helija mogli bi proći u porozne granitne komponente i stvoriti mjehuriće plina koji bi mogli ometati integritet procesa vakuuma.
Treće, granitne komponente imaju mikrofrakture koje bi mogle ometati preciznost procesa proizvodnje. Granit je krhki materijal koji bi mogao razviti mikrofrakture tijekom vremena, posebno ako je izložen stalnim ciklusima naprezanja. Prisutnost mikrofraktura mogla bi dovesti do dimenzijske nestabilnosti, uzrokujući značajna pitanja tijekom proizvodnog procesa, poput usklađivanja litografije ili poliranja vafera.
Četvrto, granitne komponente imaju ograničenu fleksibilnost. Proces za proizvodnju poluvodiča zahtijeva fleksibilnu opremu koja bi mogla prihvatiti različite promjene procesa. Međutim, granitne komponente su krute i ne mogu se prilagoditi različitim promjenama procesa. Stoga, sve promjene u procesu proizvodnje zahtijevaju uklanjanje ili zamjena granitnih komponenti, što dovodi do zastoja i utjecaja na produktivnost.
Peto, granitne komponente zahtijevaju posebno rukovanje i transport zbog svoje težine i krhkosti. Granit je gust i težak materijal koji zahtijeva specijaliziranu opremu za rukovanje poput dizalica i dizača. Uz to, granitne komponente zahtijevaju pažljivo pakiranje i transport kako bi se spriječila oštećenja tijekom otpreme, što dovodi do dodatnih troškova i vremena.
Zaključno, granitne komponente imaju neke nedostatke koji bi mogli utjecati na kvalitetu i produktivnost proizvoda za proizvodnju poluvodiča. Ti se nedostaci mogu umanjiti pažljivim rukovanjem i održavanjem granitnih komponenti, uključujući periodični pregled mikrofraktura i oštećenja poroznosti, pravilno čišćenje kako bi se spriječilo onečišćenje i pažljivo rukovanje tijekom transporta. Unatoč nedostacima, granitne komponente ostaju vitalni dio procesa proizvodnje poluvodiča zbog vrhunskog završnog obrade, velike krutosti i izvrsnog prigušivanja vibracija.
Vrijeme posta: dec-05-2023