U ključnoj karici proizvodnje čipova - skeniranju pločica, točnost opreme određuje kvalitetu čipa. Kao važna komponenta opreme, problem toplinskog širenja granitne baze stroja privukao je mnogo pozornosti.
Koeficijent toplinskog širenja granita obično je između 4 i 8×10⁻⁶/℃, što je znatno niže od metala i mramora. To znači da se pri promjeni temperature njegova veličina mijenja relativno malo. Međutim, treba napomenuti da nisko toplinsko širenje ne znači da nema toplinskog širenja. Pri ekstremnim temperaturnim fluktuacijama, čak i najmanje širenje može utjecati na nanoskalnu točnost skeniranja pločice.
Tijekom procesa skeniranja pločica, postoji više razloga za pojavu toplinskog širenja. Temperaturne fluktuacije u radionici, toplina koja nastaje radom komponenti opreme i trenutno visoka temperatura uzrokovana laserskom obradom uzrokovat će "širenje i skupljanje" granitne baze zbog promjena temperature. Nakon što baza prođe kroz toplinsko širenje, ravnost vodilice i ravnost platforme mogu odstupiti, što rezultira netočnom putanjom kretanja stola za pločice. Potporne optičke komponente također će se pomaknuti, uzrokujući "odstupanje" snopa skeniranja. Kontinuirani rad dulje vrijeme također će akumulirati pogreške, što će točnost sve više pogoršati.
Ali ne brinite. Ljudi već imaju rješenja. Što se tiče materijala, odabrat će se granitne žile s nižim koeficijentom toplinskog širenja i podvrgnuti tretmanu starenja. Što se tiče kontrole temperature, temperatura radionice precizno se kontrolira na 23±0,5℃ ili čak niže, a za bazu će se također dizajnirati aktivni uređaj za odvođenje topline. Što se tiče konstrukcijskog dizajna, usvajaju se simetrične strukture i fleksibilni nosači, a praćenje u stvarnom vremenu provodi se putem temperaturnih senzora. Pogreške uzrokovane toplinskom deformacijom dinamički se ispravljaju algoritmima.
Vrhunska oprema poput ASML litografskih strojeva, pomoću ovih metoda, održava učinak toplinskog širenja granitne baze u izuzetno malom rasponu, omogućujući točnost skeniranja pločice da dosegne nanometarsku razinu. Stoga, sve dok se pravilno kontrolira, granitna baza ostaje pouzdan izbor za opremu za skeniranje pločice.
Vrijeme objave: 12. lipnja 2025.