Sustavi zračnih ležajeva od granita široko se koriste uultraprecizanplatforme za kretanje za proizvodnju poluvodiča, optičko poravnanje i nanometarsku metrologiju.
Ovi sustavi eliminiraju mehanički kontakt korištenjem tankog filma komprimiranog zraka, postižući kretanje gotovo bez trenja.
Princip zračnog ležaja
Zračni ležajevi rade tako da uvode komprimirani zrak između dvije površine, stvarajući zračni film debljine 2–20 μm.
Ovo eliminira:
- Mehaničko trenje
- Nositi
- Ponašanje pri klizanju i zadržavanju
Sustav se oslanja na dinamiku fluidnog filma i stabilan laminarni tok.
Uloga granita
Granit pruža:
- Strukturna stabilnost
- Suzbijanje termalnog drifta
- Prigušivanje vibracija
Služi kao mehanička referentna baza za sustav gibanja.
Komponente sustava
- Granitna baza
- Pločice zračnih ležajeva
- Sustav dovoda zraka
- Precizni enkoderi
- Sustav upravljanja pokretom
Karakteristike performansi
Tipične performanse uključuju:
- Točnost pozicioniranja u submikronskim razmjerima
- Visoka ravnost pri dugom hodu
- Nula mehaničkog povratnog udara
Ključni izvori pogrešaka uključuju nestabilnost tlaka zraka, toplinski drift i pogrešku enkodera.
Primjene
- Inspekcija poluvodičkih pločica
- Litografski sustavi
- Platforme za optičko poravnanje
- Vrhunski metrološki strojevi
Često postavljana pitanja
Troše li se zračni ležajevi?
Nedostatak mehaničkog kontakta eliminira trošenje.
Zašto koristiti granit?
Za stabilnost i prigušivanje vibracija.
Što ograničava točnost?
Stabilnost zraka i toplinski učinci.
Mogu li nositi teške terete?
Da, ovisno o dizajnu.
Vrijeme objave: 03.07.2026.